擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。
擴散泵機組特點
JKT、JK系列油擴散真空泵機組是用來獲得高真空(10-2—10-5Pa)的主要設備。它以油擴散泵為主泵和閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵(前級泵)等組成高真空抽氣系統(tǒng)，可獲得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。擴散泵機組的特點是抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內(nèi)可供選擇;并可長時間穩(wěn)定連續(xù)工作。
擴散泵機組用途
它被廣泛地應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫(yī)藥、原子能、宇宙探測等高科技領域。如各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動閥門程序控制。
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